Технический принцип
Оптический 3D-профилометр в основном использует две оптические технологии:
1. Технология интерференции белого света: анализируя фазовые изменения интерференционных полос и вычисляя разницу высот поверхности, она имеет продольное разрешение субнанометра.
2. Конфокальная технология: используя принцип сопряженной фокусировки объектива, точность фокусировки достигает 2 нм, что подходит для измерения поверхностей с большим уклоном.
Область применения
1. Прецизионное производство: анализ отказов полупроводниковых чипов, характеристика устройств MEMS.
2. Исследование материалов: Обнаружение коррозии металлов/пластиков, измерение отражательной способности оптических пленок.
3. Промышленные испытания: анализ износа автомобильных компонентов, оценка плоскостности компонентов аэрокосмической отрасли.
