Обзор продукта
SCD8 — это полностью-автоматическая 8-машина центрифугирования и проявочная направляющая для процессов полупроводниковой литографии. Созданный по принципу модульной конструкции, он поддерживает комбинации нескольких камер и может быть оснащен интерфейсным модулем для линейного подключения к литографическим системам. Оборудование работает с кремнием, стеклом, карбидом кремния и другими подложками и предназначено для крупносерийного-производства, а также для исследований и разработок силовых устройств, МЭМС, радиочастотных интегральных схем и современной упаковки. Он обеспечивает стабильную производительность для рабочих процессов литографии i-line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC.
Преимущества
Совместимость с двумя-размерами без замены оборудования. Переключайтесь между пластинами разных размеров без замены механических деталей, что сокращает необходимость замены продукта-с течением времени и эксплуатационные расходы.
Для инструментов литографии доступно линейное соединение. Дополнительный интерфейсный модуль позволяет стыковать его с обычными литографическими экспонирующими машинами для реализации полностью -автоматизированного- рабочего процесса литографии.
Богатый дополнительный функциональный модуль. Поддерживает высокоточную-горячую пластину, оптическое выравнивание, экспонирование кромок пластин WEE и другие дополнения-для удовлетворения разнообразных технологических требований.
Программное обеспечение, готовое к-автоматизации производства, поддерживает как локальное, так и удаленное управление автоматизацией производства, адаптируясь к требованиям интеллектуального-управления предприятием.
Широкая совместимость с подложками. Поддерживает кремний, стекло и карбид кремния (SiC), хорошо-подходит для производства полупроводников с широкой-зонной зоной.
Параметры
|
Элемент |
Спецификация |
|
Модель |
SCD8 8-дюймовая центрифугирующая машина и проявитель |
|
Размер пластины |
8-дюймов (200 мм), совместимость с двумя размерами без замены деталей |
|
Материал подложки |
Si, Стекло, SiC |
|
Конфигурации камеры |
2C2D/4C/4D/4C4D (настраиваемый) |
|
Поддерживаемый процесс литографии |
i-линия, КрФ, АрФ, PI, SOG, SOC |
|
Совместимость с деформированной пластиной |
Поддержка деформации. Передача и обработка сверхтонких/деформированных пластин толщиной менее 5 мм. |
|
Размеры (Ш × Г × В) |
4053×1750×2460 мм |
|
Встроенная функция |
Дополнительный интерфейсный модуль для стыковки литографической машины |
|
Дополнительные устройства |
Высокоточная-горячая пластина, оптическое выравнивание, модуль экспонирования кромки пластины WEE |
|
Режим управления |
Локальное управление/дистанционное управление автоматизацией производства |
|
Сертификация |
Соответствует SEMI S2 |
Часто задаваемые вопросы
Вопрос: Какие подложки и размеры пластин поддерживает SCD8?
A: В основном предназначен для пластин диаметром 8 дюймов (200 мм). Поддерживаемые подложки: Si, Glass, SiC. Он поддерживает переключение двух размеров без замены деталей и может обрабатывать деформированные/сверхтонкие пластины с короблением менее или равным 5 мм.
Вопрос: Какие процессы литографии совместимы с SCD8?
A: Он поддерживает процессы литографии i line, KrF, ArF, PI, SOG, SOC, охватывая потребности процессов ИС, широкозонных полупроводников и МЭМС.
Вопрос: Может ли SCD8 подключаться к литографическим сканерам/степперам?
А: Да. Оснащенный дополнительным интерфейсным модулем, он может осуществлять поточную стыковку с обычными экспонирующими машинами для литографии.
Вопрос: Какие конфигурации камер я могу выбрать?
О: Доступные конфигурации: 2C2D/4C/4D/4C4D. Дополнительные дополнения: высокоточная нагревательная пластина, оптическое выравнивание, WEE, встроенный интерфейсный модуль.
Вопрос: Кто является целевым пользователем SCD8?
A: Фабрики 8-дюймовых полупроводников, производители силовых устройств, предприятия MEMS/RF, а также лаборатории университетов и научно-исследовательских институтов.
Вопрос: Можно ли использовать SCD8 как для массового производства, так и для исследований и разработок?
А: Да. Гибкие модульные конфигурации удовлетворяют требованиям крупносерийных производственных линий, а также подходят для небольших серий экспериментальных исследований и разработок.
горячая этикетка : 8-дюймовая центрифугирующая машина и проявитель, Китай 8-дюймовая центрифугирующая машина и проявитель производители, поставщики
