Обзор продукта

Наш микроскоп для контроля пластин — это интеллектуальная система оптического контроля, предназначенная для полупроводниковых пластин, панелей дисплеев, солнечных элементов и других прецизионных промышленных применений. Сочетая в себе высококачественную оптическую визуализацию-, моторизованное управление движением, технологию автофокусировки и расширенные функции анализа изображений, система обеспечивает точные и эффективные решения для обнаружения микроскопических дефектов, измерения и анализа. Оснащенная высокопроизводительной микроскопической оптикой и гибкими модулями контроля, Miracle Inspection позволяет пользователям наблюдать, измерять, определять местонахождение и отмечать дефекты на микроуровне. Он поддерживает несколько режимов наблюдения, включая светлое поле, темное поле, поляризацию, флуоресценцию и ДИК, что делает его подходящим для различных требований к контролю материалов и процессов.

Преимущества

Оптическая визуализация-высокого разрешения

В системе используется профессиональная оптика микроскопа, обеспечивающая четкие и детальные изображения для точного осмотра и анализа.

Автофокус и моторизованное управление

Модуль автофокусировки и моторизованный столик XYZ помогают пользователям быстро находить области проверки и поддерживать стабильную фокусировку во время работы.

Несколько режимов проверки

Поддерживает режимы наблюдения в светлом поле, темном поле, поляризации, флуоресценции и DIC для удовлетворения различных требований к контролю.

Функция маркировки дефектов

С помощью дополнительного модуля лазерной маркировки обнаруженные дефекты можно физически отмечать на образцах для дальнейшего анализа и улучшения процесса.

Сшивка изображений и объединение глубины резкости

Расширенные функции обработки изображений позволяют объединять несколько изображений в изображения большой-площади или полностью сфокусированные изображения, что повышает эффективность проверки.

Гибкая и простая работа

Интегрированный рабочий процесс сочетает в себе функции визуализации, измерения, анализа и отчетности, сокращая количество ручных операций и повышая согласованность контроля.

Приложение

Проверка полупроводниковых пластин

Контроль поверхностных дефектов полупроводниковых пластин
Обнаружение частиц, царапин, трещин и аномальных узоров.
Мониторинг процесса изготовления пластин после литографии, травления, осаждения и ХМП
Анализ отказов и рассмотрение дефектов

Проверка панели дисплея

Проверка стеклянных подложек и материалов панелей
Обнаружение микродефектов и контроль качества
Анализ рисунка и поверхности

Проверка солнечных батарей

Проверка поверхности солнечных пластин
Идентификация микротрещин и дефектов
Оценка качества процесса

Исследования и лабораторный анализ

Анализ материалов
Наблюдение микроструктуры
Образцы измерений и документация

Технические характеристики

Элемент	Спецификация
Тип проверки	Система контроля оптического микроскопа
Приложение	Полупроводниковая пластина, панель дисплея, солнечный элемент, прецизионные материалы
Совместимость пластин	Пластина 4 дюйма/6 дюймов/8 дюймов (опционально)
Оптическая система	Оптическая система микроскопа ZEISS
Режимы наблюдения	Светлое поле, темное поле, ДИК, поляризация, флуоресценция (опция)
Автофокус	Поддерживается
Этап движения	Моторизованная сцена XYZ
Точность XY	Меньше или равно 2 мкм
Точность точной настройки по оси Z-	Меньше или равно 1 мкм
Визуализация	Совместимость с серией ZEISS Axiocam и камерами-сторонних производителей.
Функции измерения	Длина, угол, диаметр и геометрические измерения
Обработка изображений	Сшивка изображений, объединение глубины резкости, анализ изображений
Маркировка дефектов	Модуль лазерной маркировки дефектов (опция)
Обработка пластин	Модуль автоматической загрузки и разгрузки (опция)