Обзор продукта

Вертикальные и горизонтальные трубчатые термические печи нашей компании обеспечивают высокоточный-точный контроль температуры-они позволяют выполнять все ключевые термообработки полупроводников, такие как окисление, диффузия и отжиг-будь то массовое производство или лабораторные исследования и разработки. Реальные различия между ними сводятся к структуре и тому, как они подходят для конкретных целей:

Вертикальная трубчатая термическая печь

Вертикальная трубчатая печь экономит место, подходит для пластин размером менее или равных 8 дюймам (доступен промышленный вариант 12 дюймов). Основные характеристики: максимальная зона постоянной температуры 850 мм, точность управления ±0,5 градуса.

Промышленная модель: ускоряет массовое производство ИС/IGBT за счет непрерывной пакетной обработки. Модель исследования: удовлетворяет требованиям к средним-низким температурам SiC/квантовых чипов для проверки небольших-серийных партий.

Горизонтальная трубчатая термическая печь

Горизонтальная трубчатая печь, гибкая конфигурация с 1-4 трубками; Настраиваемая зона постоянной температуры 300–1000 мм, диапазон 400–1200 градусов.

Промышленная модель: интеграция нескольких-процессов легирования пластин и структурного формования. Модель исследования. Сочетает обучение и развитие, идеально подходит для университетских небольших-серийных экспериментов.

Оба используют чистые камеры и стабильный температурный контроль, удовлетворяя тепловые потребности полупроводников, от исследований и разработок до массового производства.

Приложения

- Для университетов/исследовательских институтов: поддержка небольших-серийных исследований и разработок карбида кремния, квантовых чипов и т. д., что способствует проверке процессов обработки новых материалов и тестированию производительности.
- Микро-нанообработка: обеспечивает диффузию, окисление, отжиг, LPCVD-служит гибкой платформой для исследования оптоэлектронных/фотонных устройств.
- Исследования и разработки оптических устройств: подходят для разработки интегрированных оптических волноводов/высокоскоростных-фотонных устройств; соответствует потребностям термической обработки LiNbO₃ при протонном обмене.
- Преподавание в университете: помогает экспериментальному обучению/разработке процессов, помогает освоить полупроводниковое тепловое оборудование и связать теорию с инженерией.

Преимущества

Высокоточный-контроль температуры:

Точность ±0,5 градуса; даже при 1100 градусах стабильность в одной-точке сохраняется ±0,5 градуса в течение 24 часов, обеспечивая надежную повторяемость данных.

Совместимость с несколькими-процессами:

Вертикальные печи поддерживают диффузию/окисление; горизонтальные добавляют отжиг и LPCVD. Оба подходят для исследований и разработок SiC/квантовых чипов.

Исследуйте-дружественную адаптируемость:

Работает с пластинами диаметром менее или равными 8-дюймов (1-4 трубки опционально). Однотрубная конструкция для мелкосерийного производства сокращает затраты; поддерживает длительные непрерывные прогоны экспериментов.

Параметры

Элемент	Вертикальная трубчатая печь	Горизонтальная трубчатая печь
Температурный диапазон	200-600 градусов, 600-1200 градусов (два диапазона опционально)	200-600 градусов, 600-1200 градусов (два диапазона опционально)
Точность контроля температуры	Меньше или равно ±0,5 градуса	Меньше или равно ±0,5 градуса
Равномерность температуры	-	Меньше или равно ±1 градус
Стабильность температуры в одной-точке	Меньше или равно ±0,5 градуса при 1100 градусах в течение 24 часов подряд.	Меньше или равно ±0,5 градуса при 1100 градусах в течение 24 часов подряд.
Максимальная скорость нагрева	10 градусов/мин	10 градусов/мин
Длина зоны постоянной температуры	200-500 мм	200-500 мм

Часто задаваемые вопросы

С какими размерами пластин работает трубчатая термическая печь?

И вертикальные, и горизонтальные модели поддерживают пластины размером до 8 дюймов.

Какие основные процессы они могут выполнять?

Вертикальная трубчатая печь: обеспечивает диффузию, окисление и отжиг.
Горизонтальная трубчатая печь: добавляет интеграцию LPCVD в дополнение к этим основам.

Можно ли настроить количество технологических трубок?

Конечно,-вы можете выбрать от 1 до 4 трубок на единицу в зависимости от ваших потребностей.

Насколько точен контроль температуры?

Точность контроля температуры остается в пределах ±0,5 градуса. Даже при температуре 1100 градусов одна точка сохраняет стабильность в пределах ±0,5 градуса в течение 24 часов подряд. Для горизонтальных печей однородность температуры также находится в пределах ±1 градуса.

А как насчет скорости нагрева и температурного диапазона?

Максимальная скорость нагрева достигает 10 градусов в минуту, доступны два диапазона температур: 200-600 градусов и 600-1200 градусов.

Регулируется ли длина зоны постоянной температуры?

По умолчанию он варьируется от 200 до 500 мм, поддерживается настройка.

Что лучше для университетских исследовательских лабораторий?

Выбирайте вертикальную структуру, если вам нужны базовые процессы,-это экономит место и экономически-эффективно. Выбирайте горизонтальный вариант, если вам нужна LPCVD, поддержка в обучении или для объединения лабораторной работы и массового производства.

Может ли он проводить длительные эксперименты? Дорого ли обслуживание?

Он поддерживает непрерывную долгосрочную-работу. Техническое обслуживание проводится нечасто, поэтому затраты остаются управляемыми.

Подходит ли он для пилотного или мелкосерийного-серийного производства?

Да,-обе модели плавно переключаются между исследованиями и разработками и мелкосерийным-производством.

горячая этикетка : трубчатая термическая печь, Китайские производители трубчатой термической печи, поставщики