Система травления кремния

Основное внимание уделяется процессам 12-интерфейсных-ИС (FEOL). Состоящий из камер травления ICP и модуля переноса, он охватывает травление кремния, диэлектрика, травление затвора, W-выемку и SADP и предназначен для высокоточного нанесения рисунка на логические устройства и устройства памяти.

Многокамерная-система для 8-фабрик, основанная на воротных процессах. Он обеспечивает однородность травления -между пластиной и пластиной-между пластинами, не более 5 %, превосходный контроль над частицами и поддерживает выемки AA, STI, прокладки и W.

Здесь у нас есть две основные установки. 12-дюймовая система без проблем справляется со всеми видами процессов FEOL. А что насчет 8-дюймового? Он ориентирован на ворота и связанные с ним процессы и идеально подходит для узлов размером 0,11 мкм и выше.

Эти системы блистают в точности. Модель с диагональю 12-дюймов обеспечивает высочайший-уровень однородности и селективности травления — именно то, что требуется для передовых процессов. 8-дюймовая версия также имеет свои преимущества: низкое отклонение от однородности, а также строгий контроль частиц, поэтому вы можете рассчитывать на стабильные результаты.

Самое приятное то, что оба готовы к массовому производству. 12-дюймовый экран создан для крупномасштабных-производственных линий, что имеет смысл при больших-тирагах. Однако 8-дюймовый экран — разумный выбор, если вы увеличиваете емкость: он экономит как пространство, так и затраты, что всегда является плюсом для эксплуатации.