Обзор продукта

Наш 3D-оптический профилометр в сочетании с высокоточным-сканированием и высокоточными-алгоритмами позволяет выполнять анализ топографии поверхности в масштабе от нанометра до миллиметра, включая шероховатость, ступеньки, профиль поверхности, кривизну и другие параметры. Он широко используется в полупроводниках, оптических материалах, биочипах, металлических поверхностях, прецизионной механической обработке и других отраслях промышленности из-за бесконтактного (не-неразрушающего контроля), отсутствия требований к жесткости поверхности образца, высокой точности и быстрого сканирования.

Преимущество

Четыре различных режима измерения:-наблюдение в светлом поле, интерферометрия в белом свете, конфокальная микроскопия и объединение глубины резкости-интегрированы в один микроскоп для удовлетворения потребностей измерений в различных сценариях.

Результаты анализа могут быть получены с точностью от суб-нанометра до нанометра в различных режимах измерения.

Уникальный алгоритм искусственного интеллекта анализирует шаблон для получения результатов «без задержек» и измерения результатов «в один-клик».

Мы предоставляем «модульные» индивидуальные функциональные продукты для решения задач рабочего процесса в различных конкретных сценариях, будь то особые требования к образцам или функциональные потребности.

Имеет революционный интегрированный дизайн, объединяющий оптическую систему и датчики в одном корпусе. Компактная конструкция не только повышает-удобство для пользователя, но и значительно повышает стабильность системы, обеспечивая надежную работу в любых условиях эксплуатации.

Приложение

Этот 3D-оптический профилометр с превосходной технологией оптического обнаружения отвечает строгим требованиям различных отраслей и сценариев применения. Будь то обнаружение биочипов, полупроводников или оптических материалов, мы предлагаем индивидуальные решения для наблюдения и измерения в соответствии с вашими конкретными потребностями. Эта серия не только оснащена передовой технологией трехмерной визуализации, но также включает в себя множество инновационных функций, предоставляя пользователям всесторонние возможности наблюдения.

Параметры

Типы измерений	Интерференция белого света/слияние глубины резкости/конфокальная
Типы наблюдений	Изображения (2D/3D), морфология, размеры, шероховатость, толщина и т. д.
Источник света	Светодиод белого света, спектральный диапазон: 420-700 нм
Револьвер	6-позиционный @ полностью моторизованный; Повторяемая точность позиционирования: 0,001 градус
Камера	1936 × 1464 (132,2 кадра в секунду)
Z-этап перемещения/диапазон сканирования	Расстояние перемещения: 100 мм; Диапазон сканирования: 10 мм
Среднеквадратическая повторяемость шероховатости	0,008 нм
Повторяемость шагов	0.1 % (10 μm)
XY-ступенчатый диапазон	100 мм × 100 мм при полной моторизации
Совет-этап наклона	Регулировка угла наклона ±3 градуса при полной моторизации
Масса	75 кг
Размеры	516 мм × 430 мм × 550 мм
Экологические требования	Рекомендуемая температура окружающей среды 23 градуса, влажность 20% - 50%

Сертификатион

Оптическое оборудование нашей компании (включая оборудование для оптической обработки и оборудование для оптического контроля) успешно прошло сертификацию ISO.