Наша вертикальная печь для окисления и отжига предназначена для надежной термической обработки при производстве полупроводников. Он занимается окислением, отжигом и легированием пластин, используемых в интегральных схемах, силовых устройствах и МЭМС. Благодаря поддержке 6-дюймовых, 8-дюймовых и 12-дюймовых пластин и емкости партии до 150 штук он предназначен для обеспечения стабильных результатов в широком диапазоне температур процесса.

Высокая надежность системы и стабильная производительность, поэтому процессы остаются повторяемыми даже во время длительных запусков.

Механизмы полной безопасности защищают операторов, пластины и саму печь во время работы.

Интуитивное управление и простота обслуживания помогают сократить время простоев и упростить ежедневное использование.

Интегральные схемы: используются на этапах окисления, отжига и легирования для улучшения качества пленки и производительности устройства.

Силовые устройства: поддерживаются высокотемпературные-термические обработки, которые улучшают электрические характеристики и повышают-долгосрочную надежность.

МЭМС: обеспечивает контролируемую термическую обработку для структурного формирования, снятия напряжений и стабилизации устройства.

Вопрос: Для чего нужна эта вертикальная печь для окисления и отжига?

Ответ: Это система термической обработки, используемая для окисления, отжига и легирования при производстве полупроводников, особенно для интегральных схем, силовых устройств и МЭМС.

Вопрос: Какие размеры пластин он может обрабатывать?

О: Он поддерживает 6-дюймовые, 8-дюймовые и 12-дюймовые пластины, поэтому подходит для многих распространенных производственных и научно-исследовательских установок.

Вопрос: Сколько пластин он может обработать одновременно?

Ответ: Печь может загружать до 150 пластин за партию, что помогает поддерживать хорошую производительность без потери стабильности процесса.

Вопрос: Какой диапазон температур он охватывает?

A: Температура процесса варьируется от 400 до 1250 градусов, поэтому он может выдерживать широкий спектр термических обработок.

Вопрос: Что делает эту печь надежной в повседневном использовании?

Ответ: Он имеет высокую общую стабильность, полную систему защитных блокировок, а также простоту эксплуатации и обслуживания, что помогает сократить время простоев и обеспечить бесперебойную работу производства.

Вопрос: Можно ли использовать его как в исследованиях и разработках, так и в производстве?

А: Да. Гибкий контроль температуры и совместимость с пластинами разных размеров делают его подходящим как для лабораторных разработок, так и для массового производства.

горячая этикетка : печь вертикального окисления и отжига, Китайские производители печей вертикального окисления и отжига, поставщики