Обзор продукта

8-дюймовая система IBD компании Nice-Tech специализируется на нанесении тонких{-пленок на 8-дюймовые пластины при низкой-температуре, высокой-плотности и высокой-однородности. В нем используется технология распыления с установкой двойного-ионного-источника (напыление + вспомогательный источник): основной источник генерирует частицы осаждения, а вспомогательный источник обеспечивает предварительную очистку на месте и уплотнение пленки.

Оборудованный вращающимся мишенным барабаном с 4-слотами (поддерживает до 4 мишенных материалов) и системой оптического управления в реальном-времени (отслеживает/регулирует спектры пленки), он опционально интегрирует ионно-лучевое травление (IBE) для «осаждения-травления» в одной камере. Соответствуя полупроводниковым стандартам, он подходит для массового производства и исследований и разработок с 8-дюймовым экраном.

Преимущества

Пленки низкой-температуры, высокой-плотности

Создает высококачественные,-плотные пленки при низких температурах и сверх-низком давлении. Это позволяет полностью избежать повреждения пластины и напрямую повышает-долговечность устройства.

Разнообразие-универсальных материалов

Оснащенный барабаном с 4-мишенями, он поддерживает как одиночные, так и композитные пленки,-покрывающие металлы, сплавы, оксиды и т. д. – без необходимости частой замены мишеней.

Интегрированный прецизионный контроль

Выберите IBE, чтобы выполнить «пред-очистку → осаждение → травление» в одной камере. Мониторинг в режиме-времени обеспечивает стабильное качество пленки в каждой партии.

Широкая совместимость

Специально для 8-дюймовых пластин. Используются стандартные компоненты, что упрощает обслуживание и обеспечивает плавную интеграцию с существующими производственными линиями.

Приложения

01/

Компоненты жесткого диска:Наносит ключевые пленки (например, магнитотвердые слои смещения) на считывающие головки жестких дисков (TMR/AMR), обеспечивая магнитную стабильность.

02/

Оптические устройства:Готовит брэгговские стеки и другие оптические пленки для лазеров, фотодетекторов и оптических датчиков.

03/

Прецизионные датчики:Наносит функциональные пленки (магнитные, проводящие) для МЭМС/магнитных датчиков, повышая чувствительность.0

04/

R&D:Поддерживает разработку новых пленок (2D-композиты, пьезоэлектрические пленки) в университетах и исследовательских институтах.

Параметры

Категория	8-дюймовая система IBD
Совместимость пластин	8-дюймов (основной); адаптируется к подложкам специального размера путем настройки процесса
Конфигурация источника ионов	Двойной-ионный-источник (источник распыляющих ионов + вспомогательный источник ионов); дополнительная функция IBE (ионно-лучевое травление)
Целевая емкость барабана	Вращающийся мишенный барабан с 4 слотами (поддерживает до 4 различных мишенных материалов)
Температура осаждения	Низко-процесс (предотвращает термическое повреждение пластин и чувствительных устройств)
Технологическое давление	Среда сверх-низкого давления (способствует нанесению пленки высокой-плотности)
Система управления пленкой	Система оптического контроля-в реальном времени (отслеживает, анализирует и корректирует спектр пленки в реальном времени)
Депонируемые материалы	Металлы, сплавы, оксиды и возможность настройки для новых функциональных пленок (например, 2D-композитов, пьезоэлектрических пленок)
Интеграция процессов	Интегрированный процесс «предварительная-очистка-осаждение-травление» (опционально, в той же камере)
Отраслевое соответствие	Соответствует стандартам обработки полупроводниковой промышленности.
Ключевые компоненты	Детали международного стандарта (низкая стоимость обслуживания, удобная замена запасных частей)