Обзор продукта
Системы резистивного испарения Nice-Tech — это специально-оборудование PVD для высококачественного-напыления тонких-пленок-двух основных моделей, соответствующих вашим потребностям: RES 100 и RES 200I.
RES 100 — это компактное универсальное-универсальное устройство (выполняющее как электронно-лучевое, так и резистивное испарение) с -экономящей пространство конструкцией-идеально подходит, если в вашей лаборатории или производственном помещении мало места. РЭС 200И? Это специалист, созданный специально для профессиональных работ по нанесению ударного индия.
Обе модели оснащены проверенной технологией резистивного нагрева, вакуумными компонентами высшего-класса и собственной полностью автоматической системой управления VKOS от Vikaitech-, поэтому вы всегда получаете стабильное и надежное образование пленки. С точки зрения производительности- они обеспечивают: однородность покрытия ±3 %, повторяемость ±2 % и максимальный вакуум 1–5 Па. Независимо от того, проводите ли вы лабораторные исследования и разработки или специализированное промышленное производство, эти системы отвечают всем требованиям.
Преимущества
Целевая производительность
RES 200I оптимизирует напыление индия для инверсионной сварки; RES 100 выполняет двойное электронно-лучевое/резистивное испарение, подходящее для небольших-партийных-работ с несколькими материалами.
Компактный и эффективный
Занимаемая площадь RES 100 3,15×2,4×2,2 м экономит пространство. Обе модели имеют простое обслуживание и высокую степень автоматизации, исключающую ручную работу.
Стабильное качество
Используются основные компоненты -брендов + точный контроль температуры (RES 100: -50–500 градусов; RES 200I: -80–200 градусов) для обеспечения постоянной чистоты пленки.
Гибкая адаптация
Работает с In, металлами, диэлектриками. Подходит для мелкосерийного-производства/НИОКР; дополнительные приспособления купола/пластины для различных заготовок.
Приложения
Специализированные промышленные процессы:РЭС 200И для напыления индия при инверсионной сварке (сборка электронных компонентов).
Лаборатория и исследования и разработки:RES 100 поддерживает небольшие-НИОКР новых материалов (прецизионная оптика, микроэлектроника) в университетах/институтах.
Мелкое-серийное производство:Нестандартные электронные компоненты, оптические детали, биомедицинские устройства (тонкие пленки высокой-чистоты).
Инфракрасная и оптоэлектроника:Специализированные тонкопленочные-решения для инфракрасных детекторов и оптоэлектронных устройств.
Параметры
|
Категория |
Элемент |
Т360 (компактный тип) |
T550I (специализированный тип испарения индия) |
|
Общая информация |
Основная технология |
PVD-Сопротивление/электронно-лучевое испарение |
PVD-Сопротивление испарению (ударное осаждение индия) |
|
Система управления |
Полностью автоматическая система управления ВКОС (собственной-разработки) |
Полностью автоматическая система управления ВКОС (собственной-разработки) |
|
|
Основные компоненты |
Детали всемирно известных брендов (вакуумный насос, манометр и т. д.) |
Детали всемирно известных брендов (вакуумный насос, |
|
|
Параметры производительности |
Равномерность покрытия |
±3% |
±3% |
|
Повторяемость покрытия |
±2% |
±2% |
|
|
Абсолютный вакуум |
1Э-5Па |
1Э-5Па |
|
|
Диапазон контроля температуры |
-50 градусов ~ 500 градусов |
-80 градусов ~ 200 градусов |
|
|
Ион Источник |
Источник ионов Кауфмана и Холла |
Источник ионов Кауфмана и Холла |
|
|
Детали конфигурации |
Тип камеры |
Одна компактная камера |
Единая специализированная камера |
|
Светильники |
Купол и пластина |
Специализированная оснастка для нанесения индия |
|
|
Ключевые функции |
Двойной-режим испарения (сопротивление/электронный луч); небольшая-пакетная обработка |
Профессиональное напыление индия; инверсионная сварка |
|
|
Физические размеры |
Требования к пространству (ДxШxВ) |
3,15мx2,4мx2,2м |
3,3мx2,7мx2,2м |
горячая этикетка : системы сопротивления испарению, производители, поставщики систем сопротивления испарения в Китае

