Резистивные системы испарения

Резистивные системы испарения

Системы резистивного испарения Nice-Tech — это специально-оборудование PVD для высококачественного-осаждения тонких-пленок. Две основные модели удовлетворят ваши потребности: RES 100 и RES 200I.
Отправить запрос
Описание

Обзор продукта

 

Системы резистивного испарения Nice-Tech — это специально-оборудование PVD для высококачественного-напыления тонких-пленок-двух основных моделей, соответствующих вашим потребностям: RES 100 и RES 200I.


RES 100 — это компактное универсальное-универсальное устройство (выполняющее как электронно-лучевое, так и резистивное испарение) с -экономящей пространство конструкцией-идеально подходит, если в вашей лаборатории или производственном помещении мало места. РЭС 200И? Это специалист, созданный специально для профессиональных работ по нанесению ударного индия.


Обе модели оснащены проверенной технологией резистивного нагрева, вакуумными компонентами высшего-класса и собственной полностью автоматической системой управления VKOS от Vikaitech-, поэтому вы всегда получаете стабильное и надежное образование пленки. С точки зрения производительности- они обеспечивают: однородность покрытия ±3 %, повторяемость ±2 % и максимальный вакуум 1–5 Па. Независимо от того, проводите ли вы лабораторные исследования и разработки или специализированное промышленное производство, эти системы отвечают всем требованиям.

 

Преимущества

Целевая производительность

RES 200I оптимизирует напыление индия для инверсионной сварки; RES 100 выполняет двойное электронно-лучевое/резистивное испарение, подходящее для небольших-партийных-работ с несколькими материалами.

Компактный и эффективный

Занимаемая площадь RES 100 3,15×2,4×2,2 м экономит пространство. Обе модели имеют простое обслуживание и высокую степень автоматизации, исключающую ручную работу.

Стабильное качество

Используются основные компоненты -брендов + точный контроль температуры (RES 100: -50–500 градусов; RES 200I: -80–200 градусов) для обеспечения постоянной чистоты пленки.

Гибкая адаптация

Работает с In, металлами, диэлектриками. Подходит для мелкосерийного-производства/НИОКР; дополнительные приспособления купола/пластины для различных заготовок.

 

Приложения

01/

Специализированные промышленные процессы:РЭС 200И для напыления индия при инверсионной сварке (сборка электронных компонентов).

02/

Лаборатория и исследования и разработки:RES 100 поддерживает небольшие-НИОКР новых материалов (прецизионная оптика, микроэлектроника) в университетах/институтах.

03/

Мелкое-серийное производство:Нестандартные электронные компоненты, оптические детали, биомедицинские устройства (тонкие пленки высокой-чистоты).

04/

Инфракрасная и оптоэлектроника:Специализированные тонкопленочные-решения для инфракрасных детекторов и оптоэлектронных устройств.

 

Параметры

 

Категория

Элемент

Т360 (компактный тип)

T550I (специализированный тип испарения индия)

Общая информация

Основная технология

PVD-Сопротивление/электронно-лучевое испарение

PVD-Сопротивление испарению (ударное осаждение индия)

Система управления

Полностью автоматическая система управления ВКОС (собственной-разработки)

Полностью автоматическая система управления ВКОС (собственной-разработки)

Основные компоненты

Детали всемирно известных брендов (вакуумный насос, манометр и т. д.)

Детали всемирно известных брендов (вакуумный насос,
манометр и др.)

Параметры производительности

Равномерность покрытия

±3%

±3%

Повторяемость покрытия

±2%

±2%

Абсолютный вакуум

1Э-5Па

1Э-5Па

Диапазон контроля температуры

-50 градусов ~ 500 градусов

-80 градусов ~ 200 градусов

Ион Источник

Источник ионов Кауфмана и Холла

Источник ионов Кауфмана и Холла

Детали конфигурации

Тип камеры

Одна компактная камера

Единая специализированная камера

Светильники

Купол и пластина

Специализированная оснастка для нанесения индия

Ключевые функции

Двойной-режим испарения (сопротивление/электронный луч); небольшая-пакетная обработка

Профессиональное напыление индия; инверсионная сварка
адаптация процесса

Физические размеры

Требования к пространству (ДxШxВ)

3,15мx2,4мx2,2м

3,3мx2,7мx2,2м

 

горячая этикетка : системы сопротивления испарению, производители, поставщики систем сопротивления испарения в Китае

Отправить запрос